T/CIET 595-2024-微机电（MEMS）加速度计测试规范-国家数字标准馆

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微机电（MEMS）加速度计测试规范

发布日期： 2024-08-07

实施日期： 2024-08-07

范围:本文件规定了微机电（MEMS）加速度计的一般要求、一般测试、静态测试、动态测试、参数灵敏度测试和可靠性试验。
本文件适用于微机电（MEMS）加速度计的测试;
主要技术内容:本文件规定了微机电（MEMS）加速度计的一般要求、一般测试、静态测试、动态测试、参数灵敏度测试和可靠性试验。本文件适用于微机电（MEMS）加速度计的测试

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学

关联关系

研制信息

归口单位：中国国际经济技术合作促进会

起草单位：苏州明皜传感科技股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、西安交通大学、杭州麦新敏微科技有限责任公司、西北工业大学、北京大学、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司

起草人：汪达炜、丰永、赵立波、徐宝、卢乾波、张威、吴炆皜、沈省、贾琛、李泽雍、侯鸿道、刘岩、吴永利、汪贤峰、翟登朝、徐敬铭、包瑾、邢辉

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