T/ICMTIA ESG0022-2022-电子工业混合气体的制备称量法-国家数字标准馆

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电子工业混合气体的制备称量法

发布日期： 2022-05-10

实施日期： 2022-05-31

主要技术内容:本文件规定了用称量法制备瓶装电子工业混合气体的方法.描述了制备原理、规定了制备的策划、制备和检验过程。本文件适用于瓶装电子工业混合气体的单瓶制备和批量制备

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 01.020综合、术语学、标准化、文献 - 术语学(原则和协调配合)

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：大连大特气体有限公司、博纯材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

起草人：李福芬、依俊廷、王昭彬、龚施健、王雷、施旖旎、李庆东、柳彤、张净普

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