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现行 SJ 20636-1997
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IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法 Test method for oxygen and carbon contents of large diameter thin silicon wafer in microzone for use in IC
发布日期: 1997-06-17
实施日期: 1997-10-01
分类信息
发布单位或类别: 中国-行业标准-电子
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