T/SICA 001-2020-钛白粉用集成电路制造行业废硫酸-国家数字标准馆

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钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

发布日期： 2020-04-29

实施日期： 2020-06-01

                主要技术内容:本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时，采用集成电路制造行业废硫酸的要求，主要技术指标为 ，硫酸（H2SO4）≥60W/ %；过氧化氢（H2O2）≤0.5W/ %；铁（Fe）≤0.002W/ %；透明度≥100/mm；色度，深于标准色度；灰分≤0.01 W/ %；砷（As）≤　0.001W/ %；铅（Pb）≤0.02 W/ %

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： Z00环境保护 - 环境保护综合 - 标准化、质量管理

ICS分类： 13.030.99废物 - 有关废物的其他标准

关联关系

研制信息

归口单位：上海市集成电路行业协会

起草单位：上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司

起草人：徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆

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