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20233213-T-604
真空技术 非刀口法兰尺寸
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Vacuum technology—Dimensions of non-knife edge flanges
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2023-12-28
CCS分类：
ICS分类：23.160真空技术
现行
GB/T 3163-2024
真空技术 术语
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Vacuum technology—Vocabulary
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
ICS分类：23.160真空技术
现行
GB/T 43916-2024
真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度
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Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-04-25
ICS分类：23.160真空技术
现行
T/QGCML 743-2023
半导体设备零部件阳极氧化工艺规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-04-17
CCS分类：
现行
T/QGCML 744-2023
半导体设备零部件化学清洗工艺规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-04-17
CCS分类：
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