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现行
T/CASAS 009-2019
半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2019-11-25
现行
GB/T 42274-2022
氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法
Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-12-30
现行
T/CASAS 010-2019
氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2019-11-25