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现行
GB/T 1558-2023
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
未生效
GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-07-24