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起草人: 蔡丽艳
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T/IAWBS 021-2024
碳化硅晶片边缘轮廓检验方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2024-05-17
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GB/T 38976-2020
硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
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Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2020-07-21
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GB/T 1553-2023
硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
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Test methods for minority carrier lifetime in bulk silicon and germanium—Photoconductivity decay method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
现行
GB/T 32280-2022
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
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Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-03-09
现行
GB/T 1551-2021
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
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Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2021-05-21
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