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现行 ISO 3530:1979
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Vacuum technology — Mass-spectrometer-type leak-detector calibration 真空技术——质谱仪型检漏仪校准
发布日期: 1979-09-01
仅描述了具有整体高真空系统的泄漏检测器,以将质谱仪的传感元件保持在低压下。概述了两个程序,一个用于确定最小可检测泄漏率,另一个用于确定最小可检测浓度比。
Only leak detectors are described which have an integral high vacuum system to maintain the sensing element of the mass spectrometer at a low pressure. Two procedures are outlined, one to determine the minimum detectable leak rate and the other for determination of the minimum detectable concentration ratio.
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归口单位: ISO/TC 135/SC 6
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