KS A 0083-2013(2018)-质谱仪（类型泄漏）检测器用于校准系统的一般规则-国家数字标准馆

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질량 분석계형 누출 탐지기 교정 방식 통칙 质谱仪（类型泄漏）检测器用于校准系统的一般规则

发布日期： 2013-11-05

该标准使用质量分析计作为检纸器，内置真空排气计，以保持其分析管处于可工作的真空状态，质量分析计型泄漏探测器（以下简称泄漏探测器）。的矫正方式。但该方法主要适用于使用氦4。另外，也适用于使用其他气体。

이 표준은 질량 분석계를 검지기로 사용하고, 그 분석관을 작동 가능한 진공 상태로 유지하기 위한 진공 배기계를 내장하는 질량 분석계형 누출 탐지기(이하 누출 탐지기라 한다.)의 교정 방식에 대하 여 규정한다. 다만, 이 방법은 주로 헬륨 4를 사용하는 것에 대하여 적용한다. 또한 다른 가스를 사용하는 것에도 준용한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

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질량 분석계형 누출 탐지기 교정 방식 통칙
质谱仪（泄漏型）检测器校准系统通用规则

2013-11-05

现行

ISO 3530-1979

Vacuum technology — Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
真空技术——质谱仪型检漏仪校准

1979-09-01

现行

GB/T 18193-2000

真空技术质谱检漏仪校准
Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

2000-09-26