DB53/T 500-2013-多晶硅用三氯氢硅组分含量测定气相色谱法-国家数字标准馆

作废 DB53/T 500-2013

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

多晶硅用三氯氢硅组分含量测定气相色谱法

发布日期： 2013-08-01

实施日期： 2013-10-01

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%

分类信息

发布单位或类别：中国-云南省地方标准

CCS分类： G10化工 - 无机化工原料 - 无机化工原料综合

ICS分类： 71.040.40分析化学 - 化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：云南省质量技术监督局

起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司

起草人：赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕

相似标准/计划/法规

T/CNIA 0060-2020

多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定气相色谱法

硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

专题数据库

标准管理系统

大数据分析系统

标准智能研制系统