SJ/T 11761-2020-200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范-国家数字标准馆

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200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

发布日期： 2020-12-09

实施日期： 2021-04-01

适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司

起草人：胡松立、郑教增、冯亚彬

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《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

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