ISO 25178-607:2019-几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第607部分:非接触（共聚焦显微镜）仪器的标称特性-国家数字标准馆

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Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 607: Nominal characteristics of non-contact (confocal microscopy) instruments 几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第607部分:非接触（共聚焦显微镜）仪器的标称特性

发布日期： 2019-03-05

本文描述了共焦显微镜系统用于表面形貌面积测量的影响量和仪器特性。由于可以从表面形貌图像中提取表面轮廓，因此本文中描述的方法也可以应用于轮廓测量。

This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.

分类信息

发布单位或类别：国际组织-国际标准化组织

ICS分类： 17.040.20长度和角度测量 - 表面特征

关联关系

研制信息

归口单位： ISO/TC 213

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