ГОСТ 26239.7-84-半导体硅氧碳和氮测定方法-国家数字标准馆

现行 ГОСТ 26239.7-84

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Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота 半导体硅氧碳和氮测定方法

实施日期： 1986-01-01

此标准规定了测定氧，碳的和氮在使用活化由加速的离子和质子的硅半导体的方法

Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами

分类信息

发布单位或类别：俄罗斯-俄罗斯国家标准

CCS分类： H10/19冶金 - 金属化学分析方法

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

起草单位： Минцветмет СССР

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