GB/T 34091-2017-电子工业用气体六氟乙烷-国家数字标准馆

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电子工业用气体六氟乙烷 Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

发布日期： 2017-07-31

实施日期： 2017-11-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云

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가스 용기 — 마이크로 전자산업용 가스 용기 밸브 연결부 — 제1부: 가스 충전구 연결부
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