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电子工业用气体 磷烷混合气
发布日期：
2023-12-22
实施日期：
2023-12-30
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体
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地 址：北京市海淀区知春路4号
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