JB/T 13872-2020-平面相移干涉仪-国家数字标准馆

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平面相移干涉仪 Phase shift interferometer for flat

发布日期： 2020-04-16

实施日期： 2021-01-01

本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪(以下简称仪器)

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-机械

CCS分类： N33仪器、仪表 - 光学仪器 - 电子光学与其他物理光学仪器

ICS分类： 17.040计量学和测量、物理现象 - 长度和角度测量

关联关系

研制信息

归口单位：全国光学和光子学标准化技术委员会

起草单位：上海光学仪器研究所、苏州慧利仪器有限责任公司、贵阳新天光电科技有限公司、上海理工大学、南京东利来光电实业有限责任公司、宁波永新光学股份有限公司、宁波湛京光学仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、南京江南永新光学有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、宁波市教学仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器有限公司、麦克奥迪实业集团公司、宁波华光精密仪器有限公司、重庆奥特光学仪器有限责任公司

起草人：冯琼辉、韩森、胡清、章慧贤、洪宜萍、毛磊、鲍鹏飞、徐涛、李晞、胡森虎、王国瑞、张景华、章光伟、徐利明、吴国民

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