SJ 21261-2018-MEMS 惯性器件结构设计要求-国家数字标准馆

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MEMS 惯性器件结构设计要求 Structural design requirements for MEMS inertial device

发布日期： 2018-01-18

实施日期： 2018-05-01

本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

关联关系

研制信息

归口单位：工业和信息化部电子第四研究院

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人：徐淑静、杨拥军、杨志、李丽霞、任倩婷、胥超、卢新艳

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