T/CAS 304-2018-磁控溅射硅靶材及绑定靶材-国家数字标准馆

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磁控溅射硅靶材及绑定靶材

发布日期： 2018-05-29

实施日期： 2018-05-29

范围:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材;
主要技术内容:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L19电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 磁性元器件

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中国标准化协会

起草单位：青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学

起草人：张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科

相似标准/计划/法规

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