GB/T 36656-2018-电子级三乙基镓-国家数字标准馆

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电子级三乙基镓 Electronic grade triethylgallium

发布日期： 2018-09-17

实施日期： 2019-01-01

本标准规定了三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰

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