GB/T 37030-2018-电子级三甲基铟-国家数字标准馆

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电子级三甲基铟 Electronic grade trimethylindium

发布日期： 2018-12-28

实施日期： 2019-04-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： G86化工 - 其他化工产品 - 工业气体与化学气体

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰

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