GB/T 14145-1993-硅外延层堆垛层错密度测定　干涉相衬显微镜法-国家数字标准馆

废止 GB/T 14145-1993

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硅外延层堆垛层错密度测定　干涉相衬显微镜法 Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contrast microscopy

发布日期： 1993-02-06

实施日期： 1993-10-01

废止日期： 2004-10-14

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H24冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金相检验方法

ICS分类： 49.090航空器和航天器工程 - 机上设备和仪器

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：上海有色金属研究所

起草人：林敏敏、夏锦禄

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