T/ICMTIA CM0038-2024-半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚-国家数字标准馆

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半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

发布日期： 2024-04-25

实施日期： 2024-06-01

主要技术内容:本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司

起草人：：陶飞、周勇、吴伟华、王杨柳、陈超、方志远、王洋洋、左伟仙、毛炳全、王俊仁、崔彬

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