现行

GB/T 16945-2009

电子工业用气体 氩
Gas for electronic industry - Argon

2009-10-30

现行

GB/T 26250-2010

电子工业用气体 砷化氢
Gases for electronic industry - Arsine

2011-01-14

现行

GB/T 31058-2014

电子工业用气体　四氟化硅
Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride

2014-12-22

现行

GB/T 18867-2014

电子工业用气体　六氟化硫
Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride

2014-12-22

现行

GB/T 14602-2014

电子工业用气体 氯化氢
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

2014-12-22

现行

GB/T 26249-2010

电子工业用气体 硒化氢
Gases for electronic industry - Hydrogen selenide

2011-01-14

现行

GB/T 14603-2009

电子工业用气体 三氟化硼
Gases for electronic industry - Boron trifluoride

2009-10-30

现行

GB/T 32386-2015

电子工业用气体 六氟化钨
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

2015-12-31

现行

SJ/T 11517-2015

电子工业用气体 一氧化碳
Gases for electronic industry - Carbon monoxide

2015-04-30

现行

GB/T 18994-2014

电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry―High purity chlorine

2014-12-22