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现行 YS/T 1031-2015
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化学气相沉积炉 Chemical vapor deposition furnace
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容
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