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现行 GB/T 34972-2017
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电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
发布日期: 2017-11-01
实施日期: 2018-02-01
本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅饶、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态
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