ГОСТ Р 8.640-2008-确保测量一致性的状态系统用于光刻技术工艺测试的紫外线辐射测量的辐射计验证方法-国家标准馆·国家数字标准馆

现行 ГОСТ Р 8.640-2008

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки 确保测量一致性的状态系统用于光刻技术工艺测试的紫外线辐射测量的辐射计验证方法

实施日期： 2009-01-01

                本标准适用于的紫外辐射特性的测量的装置 - 辐射计紫外线在光刻技术中所使用的辐射，并且将它们的初始周期检定和

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок

分类信息

发布单位或类别：俄罗斯-俄罗斯国家标准

CCS分类： L00/09电子元器件与信息技术 - 电子元器件与信息技术综合

ICS分类： 17.020计量学和测量、物理现象 - 计量学和测量综合

关联关系

研制信息

起草单位： Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)

相似标准/计划/法规

GOST 8.355-1979

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры нейтронов. Методы и средства поверки
确保测量一致性的状态系统中子辐射计方法和验证手段

GOST R 8.588-2001

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для озонного мониторинга. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统用于臭氧监测的紫外辐射计验证方法

GOST 8.526-1985

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры естественных радиоактивных аэрозолей. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统天然放射性气溶胶的辐射计验证程序

GOST 8.041-1984

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры загрязненности поверхностей альфа-активными веществами. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统用于测量表面活性物质污染物的辐射计校准方法

GOST R 8.723-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统用于测量辐射的极紫外辐射的辐射计具有10-30nm波长范围内的高空间分布验证程序

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

关于我们

查新颖性

查有效性

跟踪标准

比对标准

专题数据库

标准管理系统

大数据分析系统

标准智能研制系统