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Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments (ISO 25178-604:2013)
几何产品规格(GPS) - 表面纹理:面积 - 第604部分:非接触(相干扫描干涉测量)仪器的标称特性(ISO 25178-604:2013)
发布日期:
2013-08-07
实施日期:
2013-08-07
ISO 25178-604:2013规定了表面高度3D映射的相干扫描干涉测量(CSI)系统的计量特征
ISO 25178-604:2013 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.
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