EN ISO 25178-603:2013-几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第603部分:非接触（相移干涉显微镜）仪器的标称特性（ISO 25178-603:2013）-国家数字标准馆

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Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013) 几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第603部分:非接触（相移干涉显微镜）仪器的标称特性（ISO 25178-603:2013）

发布日期： 2013-10-02

实施日期： 2013-10-02

ISO 25178-603:2013描述了相移干涉测量（PSI）轮廓和表面纹理测量显微镜的计量特征

ISO 25178-603:2013 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.

分类信息

发布单位或类别：国际组织-欧洲标准化委员会

CCS分类： J04机械 - 机械综合 - 基础标准与通用方法

ICS分类： 17.040.20长度和角度测量 - 表面特征

关联关系

研制信息

归口单位： CEN/TC 290-

相似标准/计划/法规

DIN EN ISO 25178-603

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013)
产品几何技术规范（GPS）.表面结构:面积.第603部分:非接触（相移干涉显微镜）仪器的标称特性（ISO 25178-603-2013）；德文版EN ISO 25178-603:2013

BS 09/30196967 DC

BS ISO 25178-603. Geometrical product specifications (GPS). Surface texture. Areal. Part 603. Nominal characteristics of non-contact (phaseshifting interferometric microscopy) instruments
BS ISO 25178-603 几何产品规范（GPS）表面纹理区域的第603部分非接触（移相干涉显微镜）仪器的标称特性

EN ISO 25178-604-2013

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments (ISO 25178-604:2013)
几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第604部分:非接触（相干扫描干涉测量）仪器的标称特性（ISO 25178-604:2013）

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