微纳米标准样板（几何量）
Micro nano standard samples（geometric）
发布日期：
2020-11-19
实施日期：
2021-06-01
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。本标准适用于线间隔为 0.05μm～10μm 的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为 0.01μm～100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为 2nm～l000nm 的纳米膜厚标准样板和线宽为 25nm～1000nm 的纳米线宽标准样板
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开放时间：每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：北京市海淀区知春路4号
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