ГОСТ 26239.6-84-四氯化硅二氯硅烷三氯硅烷四氯化硅 1,3,3,3-四氢四硅氧烷 1,1,3,3-四氯硅烷五氢五硅氧烷六氢二硅氧烷六氯硅烷测定法-国家数字标准馆

现行 ГОСТ 26239.6-84

到馆阅读

收藏跟踪

购买正版

Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана 四氯化硅二氯硅烷三氯硅烷四氯化硅 1,3,3,3-四氢四硅氧烷 1,1,3,3-四氯硅烷五氢五硅氧烷六氢二硅氧烷六氯硅烷测定法

实施日期： 1986-01-01

此标准规定了二氯硅烷，三氯硅烷，四氯化硅，1,3,3,3- tetrahlordisiloksana，1,1,3,3- tetrahlordisiloksana，pentahlordisiloksana，hexachlorodisiloxane，四氯化硅，六氯乙硅烷中的判定的色谱法

Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии

分类信息

发布单位或类别：俄罗斯-俄罗斯国家标准

CCS分类： H10/19冶金 - 金属化学分析方法

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

起草单位： Минцветмет СССР

相似标准/计划/法规

现行

GOST 26239.8-1984

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
半导体硅及原材料为其生产二氯硅烷三氯硅烷和四氯化硅测定方法