Настоящий стандарт распространяется на пароструйные вакуумные насосы и устанавливает метод измерения предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений.
Рассматриваемые насосы включают в себя три класса:
- диффузионные насосы;
- эжекторные насосы;
- бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов)