GB/T 13388-1992-硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法-国家数字标准馆

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硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

发布日期： 1992-02-19

实施日期： 1992-10-01

废止日期： 2010-06-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：北京有色金属研究总院

起草人：高玉

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Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

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