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现行
GB/T 44531-2024
微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 44517-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Bend testing methods of thin film materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-10-26
CCS分类:L59微型组件