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GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
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Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-07-24
现行
GB/T 34213-2023
蓝宝石单晶用高纯氧化铝
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High purity alumina for sapphire single crystal
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
现行
GB/T 31092-2022
蓝宝石单晶晶棒
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Monocrystalline sapphire bar
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-12-30
现行
GB/T 34504-2017
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
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Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2017-10-14
现行
T/CIET 138-2023
蓝宝石材料制造加工行业绿色工厂评价规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-06-28
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