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  • 发布时间
现行
GB/T 42897-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
正在批准
20221146-T-604
动梁式龙门电火花成形机床 精度检验
Gantry-type die sinking electrical discharge machines with movable crossbeam—Testing of the accuracy
发布单位或类别:国家标准计划
下达日期: 2022-12-13