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现行
GB/T 44531-2024
微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 44515-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-11-06
CCS分类:
未生效
GB/T 44513-2024
微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件