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起草人: 马茜茜
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  • 发布时间
现行
T/CHBAS 46-2023
电子工业用气体 六氟乙烷混合气
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-12-22
CCS分类：
现行
T/CHBAS 49-2023
电子工业用气体 一氟甲烷
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-12-22
CCS分类：
现行
T/CHBAS 34-2023
集成电路用混合气体 10%氨/氦
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-07-27
CCS分类：
ICS分类：99(没有标题)
现行
T/CCGA 30006-2021
电子级氟化氢
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2021-09-28
现行
T/CHBAS 12-2021
N-苯基-双（三氟甲磺酰）亚胺的测定方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2021-09-17
现行
T/ICMTIA ESG0015-2022
集成电路用气体 氘
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-04-08
CCS分类：
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