T/CHBAS 34-2023-集成电路用混合气体 10%氨/氦-国家数字标准馆

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集成电路用混合气体 10%氨/氦

发布日期： 2023-07-27

实施日期： 2023-07-27

主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体10%氨/氦的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体10%氨/氦（以下简称10%氨/氦），其它组分比例的氨氦混合气可参照执行

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 99

关联关系

研制信息

归口单位：河北省标准化协会

起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所

起草人：殷越玲、柳彤、张净普、安园园、马茜茜、崔雯、赵赛迪、张洁

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