T/ICMTIA ESG0034-2023-集成电路用混合气体 20%氟/氮-国家数字标准馆

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集成电路用混合气体 20%氟/氮

发布日期： 2023-03-01

实施日期： 2023-04-01

主要技术内容:本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方法。本文件适用于供应商自我评价、政府部门、行业组织、用户及第三方机构实施评价。其他相关评价活动可参照使用

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：福建德尔科技股份有限公司、大连大特气体有限公司

起草人：林百志、曹素英、李婷、李福芬、高天东、依俊廷

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