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被代替 GB/T 6616-1995
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半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法 Test method for measuring resistivity of semiconductor silicon or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage
发布日期: 1995-04-18
实施日期: 1995-12-01
废止日期: 2010-06-01
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