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现行 KS D ISO 22489-2018(2023)
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마이크로빔 분석 — 전자 탐침 미소분석 — 파장 분산 엑스선 분광법을 이용한 벌크 시편의 정량 점 분석 微束分析.电子探针微量分析.用波长色散x射线光谱法对大块样品进行定量点分析
发布日期: 2018-05-23
该标准规定了使用电子探针微分析仪或与扫描电子显微镜(SEM)相结合的波长分布光谱仪(WDS)分析电子束产生的X射线以识别元素,并定量样品mm大小体积内的元素的要求。
이 표준은 전자 탐침 미소분석기 또는 주사전자현미경(SEM)과 결합한 파장 분산 분광계(WDS)를 사용해 전자 빔에 의해 발생한 엑스선을 분석함으로써 원소를 식별하고, 시편의 mm 크기의 부피 내에 들어 있는 원소를 정량하기 위한 요구사항에 대하여 규정한다.
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