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半导体器件 集成电路 第21-1部分:膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)
Semiconductor devices—Integrated circuits—Part 21-1:Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the qualification approval procedures
发布日期:
2018-12-28
实施日期:
2019-07-01
分类信息
发布单位或类别:
中国-国家标准
CCS分类:
L57电子元器件与信息技术 - 微电路 - 膜集成电路
ICS分类:
31.200电子学 - 集成电路、微电子学
关联关系
研制信息
归口单位:
全国集成电路标准化技术委员会
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十三研究所、
中国电子技术标准化研究院
起草人:
冯玲玲、
陈裕焜、
雷剑、
王琪、
王婷婷、
管松林
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2002-05-17
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