KS D 0261-2012(2017)-用镜面检查硅晶片-国家数字标准馆

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실리콘 거울면 웨이퍼의 겉모양 검사 用镜面检查硅晶片

发布日期： 2012-05-17

该标准将半导体元件用硅晶片用化学和机械方法打磨镜面的晶片（以下简称晶片）。规定的表面（镜面及面）肉眼检查外观的方法。

이 표준은 반도체 소자용 실리콘 웨이퍼를 화학적ㆍ기계적 방법으로 거울면 다듬질한 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 한다.)의 표면(거울면 및 면)을 육안으로 겉모양 검사하는 방법에 대하여 규정한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 77.120.99有色金属 - 其他有色金属及其合金

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