KS D 0261-2012(2022)-镜面硅片的目视检查-国家数字标准馆

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실리콘 거울면 웨이퍼의 겉모양 검사 镜面硅片的目视检查

发布日期： 2012-05-17

该标准规定了用化学和机械方法对半导体元件用硅晶片镜面打磨后的晶片（以下简称晶片）表面（镜面及面）进行肉眼外观检查的方法。

이 표준은 반도체 소자용 실리콘 웨이퍼를 화학적ㆍ기계적 방법으로 거울면 다듬질한 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 한다.)의 표면(거울면 및 면)을 육안으로 겉모양 검사하는 방법에 대하여 규정한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 77.120.99有色金属 - 其他有色金属及其合金

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