KS D 0262-2002(2017)-切片和重叠的硅片的目视检查-国家数字标准馆

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실리콘 슬라이스 웨이퍼 및 랩 웨이퍼의 겉모양 검사 切片和重叠的硅片的目视检查

发布日期： 2002-05-29

该规格规定了检测工序，以决定硅晶片上所表现出的各种特征和污染物的外观检查以及抛光处理到一侧的硅晶片的表面性质。

이 규격은 실리콘 웨이퍼에서 보이는 다양한 특징과 오염 물질의 겉모양 검사 및 한쪽면으로 광택 처리 된 실리콘 웨이퍼의 표면 성질을 결정하기 위한 검사 공정을 규정한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

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