GB/T 1554-2009-硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法-国家数字标准馆

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硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H80冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：峨嵋半导体材料厂

起草人：何兰英、王炎、张辉坚、刘阳

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