T/ICMTIA 5.3-2020-集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法-国家数字标准馆

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集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法

发布日期： 2020-12-31

实施日期： 2021-03-01

范围:本文件适用于集成电路用ArF光刻胶;
主要技术内容:本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： G64化工 - 化学试剂 - 高纯试剂、高纯物质

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：宁波南大光电材料有限公司

起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、李珊珊

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