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电子工业用气体 六氟丙烷
发布日期：
2023-12-22
实施日期：
2023-12-30
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体
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地 址：北京市海淀区知春路4号
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