T/ZGM 014-2023-半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求-国家数字标准馆

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半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求

发布日期： 2023-10-11

实施日期： 2023-10-18

主要技术内容:本标准规定了半导体行业超纯水制备用脱气膜元件认证的技术要求、试验方法。本标准适用于半导体行业超纯水制备用脱气膜元件。规范了脱气膜产品的尺寸、性能、材质、洁净度要求及试验方法

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： J77机械 - 通用机械与设备 - 分离机械

ICS分类： 07.060数学、自然科学 - 地质学、气象学、水文学

关联关系

研制信息

归口单位：中国膜工业协会

起草单位：杭州科百特过滤器材有限公司、江苏中电创新环境科技有限公司、华东理工大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、江苏泷膜环境科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司、黄河水利职业技术学院

起草人：贾建东、周伟、程亮、殷梓卿、沈涓、程杨明、陈星、张宏杰、张优慰、彭美华、魏永明

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